| 具体描述 | 普伦货号 | 备件 | 原厂货号 |
| 密封垫圈, 0.5mm，10/包 | H2201-76019 | 耗材 | 5062-3506 |
| interface EI | H2206-86021 | 备件 | G1099-60301 |
| 5977传输线铜焊组件-EI | H2206-86022 | 备件 | G3870-60301 |
| HED单极性 | H2206-86019 | 备件 | G7077-67117 |
| HED双极性 | H2206-86020 | 备件 | G7077-67118 |
| 前级泵油 扩散泵油 | H2206-76009 | 耗材 | 6040-0809 |
| 前级泵油0.5L | H2206-76014 | 耗材 | X3703-64006 |
| 前级泵油1L | H2206-76008 | 耗材 | 5191-5851 |
| ms柱接头 | H2206-76006 | 耗材 | 05988-20066 |
| pcb风扇（73、75、77通用） | H2206-86014 | 备件 | G3170-60565 |
| 涡轮泵风扇 | H2206-86015 | 备件 | G7005-60564 |
| 5975cEI离子源加热块block | H2206-86003 | 备件 | G3170-20131 |
| 离子源加热块传感器 | H2206-86005 | 备件 | G3169-60104 |
| 惰性350源加热器/传感器组件 | H2206-86007 | 备件 | G3170-60177 |
| interface加热棒传感器 | H2206-86008 | 备件 | G1099-60107 |
| 扩散泵加热棒（90v） | H2206-86001 | 备件 | G1099-87001 |
| 扩散泵加热棒（165V） | H2206-86002 | 备件 | G1099-87002 |